1、怎么用SEM看薄膜截断面
针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答:
献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。
第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。
希 望 采 纳 不 足 可 追 问
2、哪家SEM能测镀层厚度
粗糙组和厚度是完全两个概念,二者之间没有直接的联系和差别。
AFM测的粗糙度是材料的表面形貌特征。
而你SEM做出来的厚度,只是表征材料厚度的,和表面粗糙度没有联系
3、扫描电镜怎么测膜厚度
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4、用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样才能保证导电性足够好?
SEM?FSEM的话,勉强可以看到,会漂移的很厉害,喷金可以改善导电性 查看原帖>>
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5、如何测量薄膜的厚度
薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础。很显然,倘若一批单层薄膜厚度不均匀,不但影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等,更会影响薄膜的后续加工。对于复合薄膜,厚度的均匀性更加重要。薄膜的厚度测量是薄膜制造业的基础检测项目之一。
目前测量薄膜的厚度的方法有在线测厚和非在线测厚
在线测厚较为常见的在线测厚技术有β射线技术,X射线技术和近红外技术。
β射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术。在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求,但β传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感,设备对于辐射保护装置要求很高,而且信号源更换费用昂贵,Pm147源可以用5-6年,Kr85源可用10年,更换费用均在6000美元左右。
X射线技术
这种技术极少为塑料薄膜生产线所采用。X光管寿命短,更换费用昂贵,一般可用2-3年,更换费用在5000美元左右,而且不适用于测量多种元素构成的聚合物,信号源发射性强。X射线技术常用于钢板等单一元素的测量。
近红外技术
近红外技术在在线测厚领域的应用曾受到条纹干涉现象的影响,但现在近红外技术已经突破了条纹干涉现象对于超薄薄膜厚度测量的限制,完全可以进行多层薄膜总厚度的测量,并且由于红外技术自身的特点,还可以在测量复合薄膜总厚度的同时给出每一层材料的厚度。近红外技术可用于双向拉伸薄膜、流延膜和多层共挤薄膜,信号源无放射性,设备维护难度相对较低。
非在线测厚
非在线测厚技术主要有一触式测量法和非接触式测量法两类,接触式测量法主要是机械测量法,非接触式测量法包括光学测量法,电涡流测量法、超声波测量法等。由于非在线测厚仪设备价格便宜、体积小等原因,应用领域广阔。
涡流测厚仪和磁性测厚仪
涡流测厚仪和磁性测厚仪一般都是小型便携式设备,分别利用了电涡流原理和电磁感应原理。专用于各种特定涂层厚度的测量,用于测量薄膜、纸张的厚度时有出现误差的可能。
超声波厚度仪
超声波厚度仪也多是小型便携带设备,利用超声波反射原理,可测金属、塑料、陶瓷、玻璃及其它任何超声波良导体的厚度。可在高温下工作,这是很多其它类型的测厚仪所不具备的,但对检测试样的种类具有选择性。
光学测厚仪
从测量原理上来说光学测厚仪可达到极高的测试精度,但是这类测厚仪在使用及维护上要求极高;必须远离振源;严格防尘;专业操作及维护等。使用范围较窄,仅适用于复合层数较少的复合膜。
机械测厚仪
机械测厚仪可以分为点接触式和面接触式两类,是一种接触式测厚方法,它与非接触式测量方法有着本质的区别——能够在进行厚度测量前给试样测量表面施加一定的压力(点接触力或面接触力),这样可以避免在使用非接触式测厚仪测量那些具有一定压缩力、表面高低不平的材料时可能出现数据波动较大的现象。
所以具体要选择哪一类测厚仪设备还需根据软包装材料的种类,厂家对厚度均匀性的要求、以及设备的测试范围等因素而定。
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