1、怎么用SEM看薄膜截断面
针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：
献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。
第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。
希 望 采 纳 不 足 可 追 问
2、SEM 实验
合成堇青石样品用的高铝粉煤灰和滑石粉原料及配料的微观形貌特征，采用日本日立公司生产的 S-520 扫描电子显微镜完成; 烧结试样的微观结构分析采用日本电子株式会社生产的 JSM-6390LV 扫描电子显微镜完成。将需要观察的样品取其新鲜断面，并用双面导电胶固定在样品台上，在离子溅射镀膜仪中喷镀一定厚度的铂金，镀膜时间设定为 30s，然后放入 SEM 样品室内进行观察，并记录样品的二次电子图像 ( 或称之为形貌像) 。
3、sem 样品台 多大 硅片 切成多大
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